2025年7月，正值御微半導(dǎo)體Halo-100產(chǎn)品上市一周年之際，公司已累計(jì)發(fā)運(yùn)多家掩模制造廠(chǎng)（MaskShop）、并于今日正式向掩模基板廠(chǎng)（Blank Fab）發(fā)運(yùn)專(zhuān)用版本。該版本的發(fā)運(yùn)，標(biāo)志著Halo-100成功從掩模制造領(lǐng)域延伸至上游基板生產(chǎn)環(huán)節(jié)，推動(dòng)御微“掩模全生命周期質(zhì)量控制”戰(zhàn)略實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵跨越。憑借御微公司自主研發(fā)的核心技術(shù)，   Halo-100現(xiàn)已成為掩模產(chǎn)業(yè)鏈中制造端與基板端質(zhì)量管控的標(biāo)尺。

御微半導(dǎo)體Halo-100掩模基板缺陷檢測(cè)產(chǎn)品

領(lǐng)航掩模檢測(cè)新高度，Halo-100匠心鑄就

Halo-100設(shè)備基于御微半導(dǎo)體多年深耕掩模檢測(cè)領(lǐng)域的技術(shù)積淀，通過(guò)高精度缺陷檢測(cè)與高精密光學(xué)系統(tǒng)，為掩模檢測(cè)行業(yè)提供多重價(jià)值：

- 掩模制造端：在曝光前對(duì)掩?；暹M(jìn)行入場(chǎng)檢測(cè)，攔截大顆粒污染物，避免曝光機(jī)腔體污染及后續(xù)工序良率損失；同時(shí)作為設(shè)備內(nèi)部潔凈度監(jiān)測(cè)的“標(biāo)尺”，定期檢測(cè)重點(diǎn)生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部腔體的潔凈狀態(tài)。

- 基板生產(chǎn)端：覆蓋玻璃基板來(lái)料檢驗(yàn)、多層鍍膜過(guò)程監(jiān)控及成品出貨檢測(cè)全鏈條，確保每個(gè)制程節(jié)點(diǎn)的潔凈度達(dá)標(biāo)。

- 零污染生產(chǎn)：集成自動(dòng)開(kāi)盒/倒板模塊，最大限度減少人工干預(yù)，實(shí)現(xiàn)全程封閉式管控。

御微聚力全賦能，共筑產(chǎn)鏈新價(jià)值

Halo-100的推出，與御微半導(dǎo)體已有的i6R、Raptor等產(chǎn)品形成協(xié)同效應(yīng)，構(gòu)建覆蓋掩模制造、使用、維護(hù)全生命周期的零缺陷質(zhì)量管控閉環(huán)。該體系不僅幫助客戶(hù)降低潛在污染的損失，更推動(dòng)半導(dǎo)體制造鏈條的精細(xì)化升級(jí)。

御微將持續(xù)加大研發(fā)投入、深入剖析客戶(hù)痛點(diǎn)和需求、不斷開(kāi)發(fā)出滿(mǎn)足客戶(hù)要求的新產(chǎn)品，夯實(shí)掩模版全生命周期質(zhì)量管控產(chǎn)品線(xiàn)，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)相關(guān)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的空白，為廣大客戶(hù)創(chuàng)造更高更大的價(jià)值。

御微使命，奮發(fā)前行

上海御微半導(dǎo)體技術(shù)有限公司聚焦半導(dǎo)體檢測(cè)與量測(cè)設(shè)備研發(fā)，致力于為晶圓制造、掩模版制造及封裝領(lǐng)域提供全制程領(lǐng)域量檢測(cè)解決方案。公司已獲多項(xiàng)國(guó)家級(jí)專(zhuān)精特新企業(yè)認(rèn)證，產(chǎn)品覆蓋國(guó)內(nèi)主流半導(dǎo)體廠(chǎng)商，設(shè)備累計(jì)出貨量超百臺(tái)。